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液態金屬印刷半導體技術

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  • ISBN:978-7-5478-6234-6
  • 作者:劉靜 李倩 杜邦登 著
  • 定價:¥228 元
  • 出版時間:2023-08-01
  • 版次:01
  • 印次:01
  • 裝幀:
  • 紙張:
  • 開本:16
  • 字數:
  • 頁數:

       經典半導體制備及器件光刻工藝通常受制于價格高昂的設備、繁瑣冗長的制程及嚴重水電消耗。作者劉靜教授帶領團隊研發的液態金屬印刷半導體技術,以一種自下而上的全新方式實現了對Ga2O3、GaN等第三代、第四代以及更多類型半導體的大面積低成本印制,由此可快速構筑二極管、三極管、晶體管乃至集成電路和功能芯片,這一模式打破了傳統半導體制造理念與應用技術瓶頸,正以其普惠化特點展示出巨大發展空間,可望為芯片制造業注入新的活力。為促進這一新興領域的繁榮和發展,本書旨在介紹液態金屬印刷半導體技術的基本原理、典型途徑和應用問題,以助力更多基礎研發和工業實踐,繼而推動行業進步。尤其在當前我國眾多半導體與芯片行業陷入嚴峻的卡脖子的背景下,本書的出版具有重要的現實意義。

目  錄

 

第1章緒論1

 

11半導體材料及其基本制造途徑1

 

12經典半導體制備工藝面臨的困境4

 

13通向普惠制造的印刷電子技術5

 

14變革性的液態金屬印刷半導體技術7

 

141基本技術概要7

 

142液態金屬直接印刷第三代半導體技術9

 

143液態金屬直接印刷第四代半導體技術9

 

15液態金屬印刷半導體先進制程的優勢10

 

16液態金屬印刷半導體面臨的機遇與挑戰11

 

參考文獻12

第2章液態金屬元素半導體及化合物半導體15

 

21引言16

 

22物質相態轉移與常溫制造17

 

23典型的液態金屬材料及其化合物半導體17

 

24液態金屬超常物質特性21

 

25液態金屬正重塑半導體材料學23

 

26種類無限的液態金屬合金及復合材料24

 

27液態金屬微納尺度半導體材料學25

 

28液態金屬是催生電子及半導體技術變革的強勁引擎25

 

29小結27

 

參考文獻28

第3章液態金屬基礎物理化學特性30

 

31引言30

 

32印刷電子概況31

 

321常規印刷技術31

 

322常規電子油墨32

 

323打印方法32

 

324燒結方法33

 

33液態金屬印刷電子及半導體33

 

34液態金屬電子墨水的基本特點和優勢34

 

35液態金屬電子墨水物理性質35

 

351熱物理性質 36

 

352流體性質36

 

353可彎曲及拉伸電子特性37

 

354半導體性質37

 

355磁學性質38

 

356力學性質38

 

357其他重要物理屬性39

 

36液態金屬化學性質39

 

37液態金屬典型電子及半導體墨水制備途徑40

 

371合金化40

 

372組合化41

 

373納米化41

 

374氧化41

 

375氮化42

 

376更多化學后處理措施43

 

38液態金屬印刷電子及半導體對當代社會的意義45

 

381節能意義45

 

382對環境保護的意義46

 

383對健康技術的影響46

 

384新興應用46

 

39挑戰與機遇47

 

310小結48

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