第1 章 概論 ………………………………………………………………… 1

1.1引言 ………………………………………………………… 1 

1.2微流體………………………………………………………… 1 

1.3常溫液態金屬……………………………………………………9

參考文獻………………………………………………………… 15

第 2 章 液態金屬微流體芯片及其電極制作技術 ………17

2.1 引言 ………………………………………………………17 

2.2 液態金屬微流控芯片制作技術 ……………………………………… 17 

2.3 液態金屬微電極制作技術……………………………………………… 22 

2.4 液態金屬電極穩定性探討……………………………………28 

2.5 液態金屬柔性微加熱器高溫斷裂機理探究……………………………………30

參考文獻………………………………………………………………… 36

第 3 章 液態金屬微流體溫度測量 ……………

3.1 引言…...……………………………………… 40 

3.2 熱電偶測溫 …………………………………………………… 40 

3.3 薄膜熱電阻測溫 ………………………………………………… 42 

3.4 布朗運動測溫 ………………………….………………… 43 

3. 5 紅外測溫 …………………………………………………………………… 43 

3.6 熱敏熒光測溫 ………………………………………………… 43

3.7 熱色液晶測溫 ………………………………………………… 44 

3. 8 核磁、拉曼光譜測溫……………………………………………………… 44

3.9 激光界面測溫 ……………………………………………………………… 45 

3.10 超聲波測溫 ……………………………………………………………… 45 

3.11 液態金屬微流體測溫技術 ………………………………………………………………46參考文獻…………………………………64

第 4章 液態金屬微流體壓力傳感器 …………………………………67

4.1 引言 ………………………………………………………………… 67 

4.2 基于液態金屬的用于常規空間的壓力傳感器…………………………… 68 

4.3 基于液態金屬的用于微小空間的壓力傳感器………………………… 97

參考文獻 ..…………………………………………………………… 133

第 5 章 液態金屬微流體容性流體檢測 …………………………………… 138

5.1 引言….……………………………………………………………………… 138 

5.2 雙側布置式液態金屬容性流體檢測 ………………………………………… 139 

5.3 共面布置式液態金屬容性流體檢測 ……………………………………148

參考文獻 …………………………………………………………………………………179