第1 章 概論 ………………………………………………………………… 1

1.1引言 ………………………………………………………… 1 

1.2微流體………………………………………………………… 1 

1.3常溫液態(tài)金屬……………………………………………………9

參考文獻(xiàn)………………………………………………………… 15

第 2 章 液態(tài)金屬微流體芯片及其電極制作技術(shù) ………17

2.1 引言 ………………………………………………………17 

2.2 液態(tài)金屬微流控芯片制作技術(shù) ……………………………………… 17 

2.3 液態(tài)金屬微電極制作技術(shù)……………………………………………… 22 

2.4 液態(tài)金屬電極穩(wěn)定性探討……………………………………28 

2.5 液態(tài)金屬柔性微加熱器高溫?cái)嗔褭C(jī)理探究……………………………………30

參考文獻(xiàn)………………………………………………………………… 36

第 3 章 液態(tài)金屬微流體溫度測(cè)量 ……………

3.1 引言…...……………………………………… 40 

3.2 熱電偶測(cè)溫 …………………………………………………… 40 

3.3 薄膜熱電阻測(cè)溫 ………………………………………………… 42 

3.4 布朗運(yùn)動(dòng)測(cè)溫 ………………………….………………… 43 

3. 5 紅外測(cè)溫 …………………………………………………………………… 43 

3.6 熱敏熒光測(cè)溫 ………………………………………………… 43

3.7 熱色液晶測(cè)溫 ………………………………………………… 44 

3. 8 核磁、拉曼光譜測(cè)溫……………………………………………………… 44

3.9 激光界面測(cè)溫 ……………………………………………………………… 45 

3.10 超聲波測(cè)溫 ……………………………………………………………… 45 

3.11 液態(tài)金屬微流體測(cè)溫技術(shù) ………………………………………………………………46參考文獻(xiàn)…………………………………64

第 4章 液態(tài)金屬微流體壓力傳感器 …………………………………67

4.1 引言 ………………………………………………………………… 67 

4.2 基于液態(tài)金屬的用于常規(guī)空間的壓力傳感器…………………………… 68 

4.3 基于液態(tài)金屬的用于微小空間的壓力傳感器………………………… 97

參考文獻(xiàn) ..…………………………………………………………… 133

第 5 章 液態(tài)金屬微流體容性流體檢測(cè) …………………………………… 138

5.1 引言….……………………………………………………………………… 138 

5.2 雙側(cè)布置式液態(tài)金屬容性流體檢測(cè) ………………………………………… 139 

5.3 共面布置式液態(tài)金屬容性流體檢測(cè) ……………………………………148

參考文獻(xiàn) …………………………………………………………………………………179